Jouvence et évolutions du bâti "TEGAL 915"
Résumé
Ce rapport technique détaille la jouvence d'un bâti de gravure plasma "TEGAL 915" utilisé dans la centrale de technologie du LAAS-CNRS.
Rapport
(Rapport Technique)
Année : 2023
LAAS HAL-LAAS : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://laas.hal.science/hal-04117265
Soumis le : lundi 5 juin 2023-14:22:48
Dernière modification le : samedi 16 décembre 2023-12:33:48
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04117265 , version 1
Citer
Corbin Thony, Brossa Vincent, Aurélie Lecestre. Jouvence et évolutions du bâti "TEGAL 915". LAAS-CNRS. 2023. ⟨hal-04117265⟩
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