ELENA project – electrical nanoscale metrology in industry: key outcomes

François Piquemal (1, 2) , Johannes Hoffmann (3) , Khaled Kaja (2) , Brice Gautier (4, 5) , Andreas Hertwig (6) , Norbert Fabricius (7) , Petr Klapetek (8) , Aslan Hüsnü (9) , Bernd Kaestner (10) , Aisha Ozbay (11) , Lukasz Borowik (12) , Frédéric Houzé (13) , Georg Gramse (14) , Kamel Haddadi (15, 16) , Jonathan Weaver (17)

1 LCM-CNAM - Laboratoire commun de métrologie LNE-CNAM
2 LNE - Laboratoire National de Métrologie et d'Essais [Trappes]
3 METAS - Institut Fédéral de Métrologie
4 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
5 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
6 BAM - Bundesanstalt für Materialforschung und - prüfung [Berlin]
7 International Standards Consulting GmbH
8 Czech Metrology Institute
9 DFM A/S (Danish National Metrology Institute)
10 PTB - Physikalisch-Technische Bundesanstalt [Berlin]
11 TUBITAK UME - TUBITAK National Metrology Institute [Kocaeli, Turkey]
12 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
13 GeePs - Laboratoire Génie électrique et électronique de Paris
14 JKU - University of Linz - Johannes Kepler Universität Linz
15 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
16 CSAM - IEMN - Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN
17 University of Glasgow

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

François Piquemal, Johannes Hoffmann, Khaled Kaja, Brice Gautier, Andreas Hertwig, et al.. ELENA project – electrical nanoscale metrology in industry: key outcomes. Journées Plénières GDR NAME 2024, Nov 2024, Lille (Villeneuve d'Ascq), France. ⟨hal-04748829⟩